深圳市富明溅射靶材有限公司
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采购靶材的注意事项
发布日期：2016-02-29 11:33 作者：admin
(1) density，这个是最主要的，好的靶密度至少达到97%以上，所以大家买回靶来以后可以根据重量体积来计算一下 你们的靶的密度和理论块体的密度的比例有多少，低于90%的退货。
(2) 开裂问题，套磁靶很容易开裂，所以大家一定要求用cu的背板，这个是必须的，另外靶材不宜太厚，小于5mm最好了。金属靶是不大会开裂的，否则它的密度肯定很差。
(3) 电导率，对于AZO， ITO靶材来说，买回来了可以测测他们的电导率是多少，不同公司用的粉不同，电导率有很大差别，越小你 做出来的膜导电性肯定越好了。否则你死活都做不出你需要的电阻率的。
好的AZO靶材的AZO粉很重要，最好的是用纯的AZO粉，但是价格很贵，而且工艺比较复杂，这样的靶材做出来的膜电阻率最好。
目前国内主要是采用ZnO和Al2O3粉掺在一起做，但是问题是Al很难掺杂进ZnO中，所以电阻率不大好。ITO相类似。
建议靶材不要自己做，还是花钱买些大公司的靶材。你自己做一方面浪费时间，另外一方面你距离真正的好地靶材的距离太远了，目前你的条件完全不可能实现。