1.氧化物:一氧化硅靶材，SiO靶材,二氧化硅靶材，SiO2靶材,二氧化钛靶材，TiO2靶材,二氧化锆靶材，ZrO2靶材,二氧化铪靶材，HfO2靶材,一氧化钛靶材，TiO靶材,五氧化三钛靶材，Ti3O5靶材，五氧化二铌靶材，Nb2O5靶材，五氧化二钽，Ta2O5靶材,氧化钇靶材，Y2O3靶材等高纯氧化物镀膜材料。

　　2.氟化物：氟化钕靶材，NbF3靶材,氟化钡靶材，BaF2靶材，氟化铈靶材，CeF3靶材，氟化镁靶材，MgF2靶材，氟化镧靶材，LaF3靶材，氟化钇靶材YF3靶材，氟化镱靶材，YbF3靶材，氟化铒靶材，ErF3靶材等高纯氟化物。

　　3.其它化合物：硫化锌靶材，ZnS靶材，硒化锌靶材，ZnSe靶材，氮化钛靶材，TiN靶材，碳化硅靶材，SiC靶材，钛酸镧靶材，LaTiO3靶材，钛酸钡靶材，BaTiO3靶材，钛酸锶靶材，SrTiO3靶材，钛酸镨靶材，PrTiO3靶材，硫化镉靶材，CdS靶材等真空镀膜材料。

　　4.金属镀膜材料：高纯铝靶材，Al靶材，高纯铜靶材，Cu靶材，高纯钛靶材，Ti靶材，高纯硅靶材，Si靶材，高纯金靶材，Au靶材，高纯银靶材，Ag靶材，高纯铟靶材，In靶材，高纯镁靶材，Mg靶材，高纯锌靶材，Zn靶材，高纯铂靶材，Pt靶材，高纯锗靶材，Ge靶材，高纯镍靶材，Ni靶材,高纯金靶材，Au靶材，金锗合金靶材，AuGe靶材，金镍合金靶材，AuNi靶材，镍铬合金靶材，NiCr靶材，钛铝合金靶材，TiAl靶材，铜铟镓合金靶材，CuInGa靶材，铜铟镓硒合金靶材，CuInGaSe靶材，锌铝合金靶材，ZnAl靶材，铝硅合金靶材，AlSi靶材等金属镀膜材料。